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imec 与 TEL 扩展战略合作伙伴关系,共促后 2nm 尖端制程发展
imec 与 TEL 的合作已有 30 年历史,覆盖光刻、逻辑、存储和 3D 集成等关键领域,在 High NA EUV 光刻、蚀刻、湿法加工和沉积等方面取得了重大突破。
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imec 展示 NbTiN 超导数字电路关键结构,可实现百倍能效提升
imec 表示其展示的技术与标准 12 英寸晶圆 CMOS 制造技术兼容,还能承受传统后端工艺中的 420℃ 加工温度。