河南东微电子突破光刻机核心部件技术

近日，河南东微电子材料有限公司宣布，其自主研发的光刻机核心零部件，包括直线电机、光源、光纤及磁座等，已成功通过中芯国际与长鑫存储的严格认证。此举标志着公司在高端半导体设备关键部件国产化方面取得了实质性进展。

东微电子指出，此次通过认证不仅是企业技术实力的体现，也为中国半导体产业链的自主可控提供了有力支撑。在当前全球半导体产业竞争日益激烈的背景下，关键设备和零部件的自主可控尤为关键。

根据公开资料显示，早在2021年底，国家多部门联合印发的重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录中，光刻机用直线电机被明确列为“卡脖子”技术之一。该部件的国产化，对提升我国光刻设备整体制造能力具有重要意义。

为突破国外技术封锁，东微电子组织专门技术团队，围绕光刻机关键部件展开深入研究，攻克了多项技术难题，最终实现对国际先进水平的对接，为国产光刻设备发展扫清了部分障碍。

据技术资料介绍，直线电机是光刻机运动系统的核心组件。光刻机在制造过程中需将微米甚至纳米级电路图案精确投射到硅片表面，直线电机则负责驱动工作台与掩模台进行高速、高精度的直线运动，其性能直接影响设备的定位精度和运行稳定性。随着芯片制造工艺不断升级，传统的旋转电机配合机械传动方式已难以满足要求，直线电机因其响应速度快、定位精度高、无机械磨损等优势，成为高端光刻设备不可或缺的关键部件。

目前，高端直线电机技术仍主要掌握在少数国外企业手中，国内市场需求高度依赖进口。东微电子的突破，为实现该部件的国产替代打下了坚实基础。

资料显示，东微电子自2018年落户郑州航空港实验区以来，持续加大在半导体材料与设备零部件领域的投入，已在多地设立研发与生产基地。公司致力于打造高端集成电路制造领域一站式解决方案平台，助力中国半导体产业破解“卡脖子”难题。