精度 0.6 纳米，全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

8 月 14 日消息，据杭州日报报道，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来重大喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度与国际主流设备相当，标志着我国量子芯片研发领域迎来了具有自主知识产权的“中国刻刀”。

在测试现场，浙江大学余杭量子研究院的研发团队正紧张地进行着各项测试工作。这台外形类似大型钢柜的设备，其电子显示屏上实时显示着各项参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人表示，“羲之”是依托省重点实验室自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机，目前已正式投入市场。

从报道获悉，“羲之”以东晋书法家王羲之的名字命名，其“毛笔”则是高能电子束，能够在芯片上刻写电路。该设备专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节，精度达到 0.6 纳米，线宽 8 纳米，且无需掩膜版即可灵活修改设计。这种灵活性使其特别适合芯片研发初期的反复调试，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画。

此前，由于国际出口管制，国内顶尖科研机构如中国科学技术大学、之江实验室等长期无法采购此类设备。而“羲之”的成功落地，有望打破这一局面。据报道，“羲之”的定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。